<{配资之家}>激光辐射系统中波长控制方法，与重复率及ILC算法有关

在用于产生多于一个波长(颜色)的激光辐射的系统中控制波长的设备和方法，其中一个或多个致动器响应于被提供的波形来控制波长。波形和/或用于控制波形的控制器的特性基于激光器的当前重复率来确定。确定当前重复率，如果它是新的，则命令新的波形。还公开了一种系统，其中取决于重复率的校正被应用于确定波长的ILC算法。ILC算法。ILC算法。

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【技术实现步骤摘要】

【国外来华专利技术】pass)中的每次曝光通过，使用不同的激光波长在晶片上进行该多于一次的曝光通过。

多焦点成像(MFI)使用多个聚焦水平(例如，经由多个波长)来有效地增加物镜的给定数值孔径(NA)的DoF。这使得能够增加成像NA以及因此的曝光宽容度(工艺窗口)，同时能够根据制造层需要通过MFI优化DoF。

此外，构成聚焦激光辐射的透镜的材料是色散的，因此不同的波长聚焦在不同的深度。这是为什么可能希望具有改变波长的能力的另一个原因。

在单色模式中，两个致动器，即步进电机和压电换能器(PZT)，彼此结合工作以稳定中心波长。在操作中，步进电机具有有限的分辨率，因而PZT被用作主致动器。然而，在双色模式中，波长稳定性基于中心波长，即两个交替光谱的平均值，并且在该模式中，PZT的任务是产生生成交替波长的波形。

作为具体示例，在生成两个不同波长的DUV光的应用中，参考波长在曝光期间具有两个设定点，即，第一波长处的第一设定点和第二波长处的第二设定点。然后，将在这两个设定点之间调制参考波长。每个波长目标变化需要预定的稳定时间。

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【国外来华专利技术】1.一种激光系统，包括：触发电路，用于在至少两个突发中激发所述激光系统，其中第一突发包括以第一重复率激发的多个第一突发脉冲，并且第二突发包括以第二重复率激发的多个第二突发脉冲；波长控制装置，其适于响应于第一施加波形来控制所述第一突发脉冲中的每一个突发脉冲的相应波长，并且响应于第二施加波形来控制所述第二突发脉冲中的每一个突发脉冲的相应波长；以及比较器，用于执行所述第二重复率和所述第一重复率之间的比较，并且用于至少部分地基于所述比较来确定所述第二施加波形的一个或多个参数。2.如权利要求1所述的激光系统，其中如果所述第二重复率不同于所述第一重复率，则所述比较器确定使用不同于所述第一施加波形的第二施加波形。3.如权利要求1所述的激光系统，其中如果所述第二重复率与所述第一重复率相同，则所述比较器确定使用与所述第一施加波形相同的第二施加波形。4.如权利要求3所述的激光系统，其中所述比较器使用所述第二重复率作为输入来计算所述第二施加波形的一个或多个参数。5.如权利要求3所述的激光系统，其中所述比较器包括现场可编程门阵列，所述现场可编程门阵列至少部分地基于所述第二重复率来确定所述第二施加波形的一个或多个参数。6.如权利要求3所述的激光系统，其中所述比较器包括具有查找表的存储器，并且其中所述查找表基于所述第二重复率返回所述第二施加波形的一个或多个参数。7.如权利要求6所述的激光系统，其中所述一个或多个参数包括所述第二施加波形的幅度的大小。8.如权利要求6所述的激光系统，其中所述一个或多个参数包括所述第二施加波形的幅度的大小的时间变化。9.如权利要求6所述的激光系统，其中所述一个或多个参数包括对所述第二施加波形的反馈算法的校正。10.如权利要求9所述的激光系统，其中所述反馈算法是迭代学习控制算法。11.如权利要求9所述的激光系统，其中在所述第二突发中的多个触发脉冲已被用于计算所述第二重复率之后，所述比较器将所述第二施加波形施加到所述第二突发。12.如权利要求11所述的激光系统，其中在所述第二突发中的第三脉冲已被用于计算所述第二重复率之前，所述比较器将所述第二施加波形施加到所述第二突发。13.如权利要求9所述的激光系统，其中在第二突发中的多个触发脉冲已经被用于计算所述第二重复率之后，所述比较器将在所述第一突发期间施加的第一触发波形施加到所述第二突发。14.如权利要求13所述的激光系统，其中所述比较器施加所述第一施加波形作为所述第一触发波形。15.如权利要求13所述的激光系统，其中所述比较器施加默认波形作为所述第一触发波形。16.如权利要求13所述的激光系统，其中所述比较器施加恒定电平作为所述第一触发波形。17.如权利要求13所述的激光系统，还包括转换管理单元，用于管理所述第一触发波形

和所述第二施加波形之间的转换。18.如权利要求17所述的激光系统，其中所述转换管理单元通过使所述第一触发波形和所述第二施加波形交叉衰落来管理所述第一触发波形和所述第二施加波形之间的转换。19.如权利要求17所述的激光系统，其中所述转换管理单元通过在所述第一触发波形的过零处从所述第一触发波形切换到所述第二施加波形，来管理所述第一触发波形和所述第二施加波形之间的转换。20.如权利要求17所述的激光系统，其中所述转换管理单元通过在所述第一触发波形的局部最大值或最小值处从所述第一触发波形切换到所述第二施加波形，来管理所述第一触发波形和所述第二施加波形之间的转换。21.一种控制激光系统的方法，所述方法包括：在第一突发中激发所述激光系统，所述第一突发包括以第一重复率激发的多个第一突发脉冲；在包括多个第...

【专利技术属性】

技术研发人员：J，

申请(专利权)人：西默有限公司，

类型：发明

国别省市：

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